电容式传感器可分为几类

电容式传感器分为哪几种？ 

电容式传感器主要分为以下三种类型：

1. 变极距型电容传感器：这种传感器以平行板电容器为例，上极板固定不动，下极板为动极板，当两极板的距离发生变化时，电容也会相应变化。这种传感器适用于较小位移的测量（0.01 μm～1 mm）。

2. 变面积型电容传感器：这种传感器以平行板电容器为例，当上极板移动时，两极板间的相对覆盖面积发生变化，从而引起电容的变化。这类传感器具有较好的线性特性，可以用于位移测量。根据应用要求，有平行板型极板、圆筒型极板和锯齿型极板等。

3. 变介质型电容传感器：这种传感器的电容变化与介质有关。介质的变化可能会引起电容的增大或减小。这种传感器广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。

电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，但在使用中需要注意环境温度、湿度变化，边缘效应，寄生电容，屏蔽电极的使用，漏电阻、激励频率和极板支架材料的绝缘性等因素对测量结果的影响。