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蚀刻技术和光刻技术是芯片制造中的两个环节,都是在硅片表面进行微观雕刻,但具体的工作原理和应用场景略有不同。以下是蚀刻技术和光刻技术的比较和相关知识点:

1、光刻的本质是把电路结构复制到硅片上,而蚀刻的目的是在硅片上留下永久的图形。完整的刻蚀工艺流程分3步:薄膜沉积完成后进行光刻、刻蚀、去胶清洗。

2、光刻的目的是将电路图形转移到覆盖于硅片表面的光刻胶上,而刻蚀的目的是在硅片上无光刻胶保护的地方留下永久的图形。简单记忆秘诀:光刻-对光刻胶处理,刻蚀-对硅片处理。

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